中微为什么能在刻蚀机领域冲出来?有以下原因:

1. 真正的专业人才队伍

尹志尧1980年在北大化学系读硕士时赴美留学,用三年半时间在加州大学洛杉矶分校拿到物理化学博士学位,1984年起就在硅谷工作,先在英特尔技术发展部门做电浆蚀刻,1986年到科林研发(LAM)负责彩虹等离子体刻蚀设备开发,1991年加入应用材料公司(Applied Materials),曾任副总裁,先后获得数十项美国专利。

2004年,尹志尧放弃百万美元年薪,希望在给外国“做嫁衣”多年之后,为中国做些事。与他一起回来的是15位在应用材料公司、科林研发等有二三十年半导体设备研发制造经验的资深工程师,他们承诺不会把美国公司的技术、设计图纸、工艺过程带回中国,美方对他们持有的全部文件和个人电脑也彻底清查了一遍。基于这样的团队和基础技术的支撑,虽然从零开始,他们很快就开发出了第一台国产等离子体刻蚀机。

2. 发挥自身优势,走创新之路

中国人聪明勤劳,也有成本优势,一个研发工程师的成本相当于美国的1/5到1/2。为提升效率,尹志尧他们研制出“双台机”,即对成本和尺度类似的晶圆一次加工两片。这使其生产率比国外的单台机提高50%以上,加工每片芯片的成本节省35%以上,有明显的性价比优势。

3. 确保知识产权

知识产权是高科技竞争利器,也是后来者要直面的屏障。尹志尧看到,刻蚀机领域的专利分两种,概念专利17年过期,工程技术的细节专利则有路径绕开。从中微自行开发12英寸芯片刻蚀机开始,先是在美国被应用材料公司起诉侵权,但对方举证无力,中微反诉对方不正当竞争,最终和解;后来中微在中国台湾地区被科林研发起诉,由于中微做了大量知识产权预警分析,用了不到一个月就向法院提交证据,主张对方两项专利无效。官司打了几年,最终科林研发的专利被宣布无效,中微冲破了进入台湾市场的知识产权障碍。

芯片是资本高消耗产业,一条12英寸的芯片生产线,月产量五六万片,就要投四五十亿美元,且风险很大。作为设备供应商,应用材料公司和科林研发每年研发投入有八到十几亿美元,而中微目前吸收的总资本也不过几十亿人民币。所以这是一场“不对称的竞争”。

怎么办?一靠政府和市场两种力量的支持,不可能光靠风险资本。比如当年韩国发展半导体工业,就由政府出面,要求银行贷款利率低到1%。其二,光靠钱是不够的,团队更重要,喊口号忽悠政府没用,必须是专业专精的队伍,还要高效使用资金,聚焦特定方向,走出自己的创新之路。

令人欣慰的是,过去若干年,在中国像中微这样有抱负、有技术、坚持市场化道路和开放式自主创新、同时得到政府社会方方面面支持的芯片领域的创业创新者不是少数。尹志尧说,新中国成立后我们过于强调自主(当时也有客观环境约束),改革开放30多年“市场换技术”,对自主又有些忽略。现在,“否定之否定”,进入开放合作与自主创新相结合的新阶段。为什么自主创新的春天来了?因为十几年前中国的资本还不充裕,资本消耗加技术密集的产业投不起,也缺乏以知识产权为核心的保障和激励机制。而现在这些条件都具备了。

4. 承认差距,加强合作

最近看芯片领域的资料,发现有两种倾向,一种认为中国芯片没啥希望,和世界水平差得远;一种则自我感觉良好,动不动就是“三到五年赶上世界先进水平”。

中微无疑是中国在半导体设备领域的一个亮点,但2017年4月他们曾发过一篇《关于部分媒体近日对中微公司不实新闻报道的澄清声明》——

近日,我们发现某网络媒体未经证实发布了关于“当所有的巨头还在为10nm、7nm技术大肆进军的时候,中国中微正式宣布掌握5nm技术”的误导性新闻,……实际上,正是中微的客户——国际一流的集成电路制造厂商,推动了芯片技术和生产一代又一代的进步。中微作为设备公司,是向他们提供可加工先进器件的设备,协助他们实现新一代器件的开发和生产。中微不可能脱离他们的5纳米技术开发,而独立地掌握5纳米技术。

中微从事的是半导体高端设备的开发、销售和售后服务,是一种市场化的商业行为,在国际半导体设备产业,参与产业链的合作和竞争也是十分正常的。文章的作者也不应该将这种正常的商务行为过分夸大和渲染,造成不必要的、非商业的敏感性。

在声明中,中微特别强调了自己是芯片大厂的供应商,不可能脱离他们独立掌握最先进的技术,强调了市场化和产业链合作与竞争。这种态度是理性的。尽管中微有突破性成绩,但放在全球看还很小。在这个细分市场上,二三十年前有30多家厂商,今天只剩下应用材料公司、科林研发和日本东京电子三家大公司,还有两家小公司。应用材料公司年销售额在150亿美元以上,科林研发和东京电子也有五六十亿美元。而2017年4月尹志尧公开演讲中提到,中微将全力挺进2020年实现20亿元销售目标,并力争2050年达到50亿元。2017年,中微销售额在11亿元人民币左右。

从中微这个案例来看,中国芯片产业已经可以在某个局部实现突破,而且有性价比的竞争力,但要在短时间跻身世界前列,是不可能的。尹志尧说,一代产品从研究开发样机、生产样机,到最终进入芯片大厂,就要六七年时间。这是需要长期专注投入的产业。芯片领域还有丰富的生态属性,涉及到多方面的协同配合,设计、设备、制造工艺、原材料,哪里有短板都会影响到整体水平。

硅谷芯片产业有半个多世纪历史,集纳了全世界最聪明的人一起研发。我们现在的人才结构,远远做不到集聚全球人才。改革开放这几十年,中国主要实现了从“手工劳动”到“机械化”的工业革命,这是一种“宏观加工”,而最发达经济体实现了从“机械化”到“智能化”的新工业革命,这是一种“微观加工”,他们在像芯片这样的看不见的地方投注的资本和人力是巨大的、持续的。楼要一步步上,过去我们没有重资本投入能力,也没有成群结队的人才梯队。在这样的基础上,就算急起直追,怎么能一蹴而就呢?

但近两年中国相当多的报道,只讲自己的优势和好处,一边倒,既激发起“中国芯片指日可待”的迷思,也徒增全球产业链“你中有我,我中有你”的合作伙伴的不舒服,更让美国方面把担忧提早转化为对中国的压力。中国在应用型商业模式方面创新很多,阿里和腾讯已经可以对标亚马逊和脸书,最优秀人才都涌到BAT这样的公司,但在原始技术创新方面,我们起步还不久,芯片领域远没有到出现巨人的时候。互联网不用谷歌、脸书可以,但芯片不用高通、英特尔、ARM、三星行吗?明明不行,还要膨胀,自然会加剧美国对中国高科技产业的焦虑。